Umgebende luftgelagerte Struktur
Die X-, Y- und Z-Achsen verwenden das kreisf?rmige symmetrische Design eines Luftlagers, das den Einfluss der Verformung struktureller Teile auf die Maschinenstabilit?t erheblich reduziert und die Torsionssteifigkeit beweglicher Teile effektiv verbessert. Die Steifigkeit und Stabilit?t des Koordinatenmessger?ts werden ebenfalls verbessert.